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分子真空泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。分子泵維修廠家天之華來給大家講解一下：
可分為：
1、牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子發(fā)生碰撞，得到動量，被驅(qū)動到泵出口。
2、渦輪分子泵：通過高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的固定葉片相互配合來抽氣。這種泵通常在分子流中工作。
3、復合分子泵：是一種復合分子真空泵，由渦輪和牽引分子泵串聯(lián)組成。
應該如何清洗分子泵？
(1)關掉分子泵，進行排氣。
(2)小心地從設備上取下分子泵，注意不要觸碰接口的邊緣，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口向下，垂直放置在一個容器中，容器中有無水酒精，液位高度略低于前真空接口。
(5)上下移動分子泵數(shù)次，便于清洗分子泵的定子和轉(zhuǎn)子葉片。更換無水酒精，添加新的無水酒精，至少重復一次。每次浸泡在無水酒精中約5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口向上，然后慢慢放平，以排出磁性軸承中的酒精。
(7)在高真空接口上放置一個網(wǎng)格，然后向下放置30min以上，排出清潔酒精，注意不要損壞接口的密封面。
(8)連接前真空泵，關閉分子泵時，使用前真空泵抽真空，使真空度達到10左右^-1Pa為了透徹清除分子泵中殘留的無水酒精。
(9)由于前級真空泵中含有酒精，需要更換前級泵真空油。
(10)連接分子泵開始工作，因為處理后，分子泵中仍有殘留的酒精，所以初次抽真空比較慢，屬于正常情況。