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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的總稱。它是一種常見(jiàn)的可以獲得高真空和更高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子。支撐轉(zhuǎn)子平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的軸承承載大量負(fù)荷。正確使用和及時(shí)維護(hù)對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常運(yùn)行具有重要意義！可以減少分子泵維修的次數(shù)。
1.盡量避免頻繁啟停。
當(dāng)分子泵以均勻的速度工作時(shí)，轉(zhuǎn)子葉片只受離心力的影響（真空阻力很小，可以忽略不計(jì)），即遠(yuǎn)離軸心方向的拉力；在加速和減速過(guò)程中，葉片也受到旋轉(zhuǎn)切線方向的力，這相當(dāng)于彎曲葉片的力。顯然，彎曲葉片對(duì)其疲勞壽命的影響更大。
此外，分子泵加速時(shí)功率比較大，內(nèi)部發(fā)熱嚴(yán)重，頻繁啟停(兩次啟動(dòng)間隔小于30分鐘)會(huì)導(dǎo)致熱量積聚，導(dǎo)致分子泵內(nèi)部溫度過(guò)高，加劇軸承磨損。
2.根據(jù)工藝條件選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s。
分子泵有三種冷卻方式:自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷。300l/s以下的分子泵可以在沒(méi)有氣體負(fù)荷的情況下自然冷卻；當(dāng)較大的分子泵或有一定的氣體負(fù)荷時(shí)，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷(風(fēng)扇冷卻)；對(duì)于一些負(fù)荷較大的應(yīng)用(如CVD)或不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境(如輻射環(huán)境)，需要水冷。
無(wú)論采用何種冷卻方法，分子泵工作的環(huán)境溫度應(yīng)保持在5-35攝氏度之間。采用水冷時(shí)，應(yīng)使用處理后的軟水，冷卻水的溫度和流量也應(yīng)符合說(shuō)明書(shū)的要求。